半导体硅片生产用超纯水处理设备

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点
3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

1、连续运行禅水质稳定品质更佳。
2、系统运行可靠性稳定。
3、运行成本低。
4、占地面积小。
5、自动化程度高。
6、操作及维护简单，无需接触酸碱。
7、使用安全及环境良好。
8、无污水排放，无环境污染。

电导率：2-10μS/cm（25℃）
PH值：6.5－9
水温度：5～35℃
总硬度：<0.5ppm
有机物：<0.5 ppm,TOC为零
氧化物：≤0.05ppm
铁、锰：<0.01ppm
二氧化硅：<0.05 ppm
二氧化碳：<5ppm